




氦質譜檢漏儀的應用拓展一
例如火箭發(fā)動機及姿態(tài)發(fā)動機,過去是打壓刷肥皂水檢漏,現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏,采用正壓吸槍與氦罩法結合,使檢漏靈敏度大大提高,從而保證了發(fā)動機質量。2)KM6空間環(huán)模裝置設備龐大,主真空室直徑12m、高22m,另外有輔助真空室和載人艙等?;鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用,提高了檢漏靈敏度,彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。
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氦質譜檢漏儀的原理
氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。
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氦質譜檢漏儀的檢漏方式有那些
氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內而被檢測。當磁場的磁通密度一定時,不同質荷比(m/e)的離子在磁場中都有相應的運輸半徑,也就是都有相應的圓軌跡,這樣,不同質荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。
氦質譜檢漏儀逆擴散原理
逆擴散方式檢漏允許被檢件內壓強較高,氦質譜檢漏儀可達1000Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質譜管不易受污染,燈絲壽命長等優(yōu)點。
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